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電子車間凈化工程概述

電子車間凈化工程是為了提供一個(gè)清潔、恒溫、恒濕的環(huán)境，以保證電子產(chǎn)品的質(zhì)量和穩(wěn)定性。這種工程主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、集成電路、顯示屏、精密儀器制造等領(lǐng)域。

凈化工程的關(guān)鍵要素

1. 空氣凈化系統(tǒng)：

   • 電子廠凈化車間通常采用初效、中效、高效三級(jí)過濾器來處理空氣。
   • 對(duì)于不同級(jí)別的空氣凈化處理，應(yīng)選擇合適的過濾器。例如，對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過濾器代替高效過濾器；而對(duì)于100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理，則應(yīng)采用初、中、高效三級(jí)過濾器。
   • 空氣凈化系統(tǒng)的設(shè)計(jì)需要考慮風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等因素。

2. 溫濕度控制：

   • 電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間，以防止靜電產(chǎn)生，保護(hù)CMOS集成不受損壞。

3. 噪聲控制：

   • 電子制造廠萬級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB(A)。

4. 正壓控制：

   • 潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

5. 新鮮空氣量：

   • 新鮮空氣量應(yīng)取補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和，以及保證供給無塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3中的較大值。